[发明专利]一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统

摘要

本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体地说是一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统。包括自动传输机构、升降气缸、样品载板及样品架，所述五腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，其中装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有升降气缸、样品载板及样品架，所述样品架与电机连接、并通过电机的驱动进行旋转，所述样品载板设置于样品架上，所述升降气缸对样品载板进行提拉或放下，所述自动传输机构携带样品载板在腔体间运动。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺过程与取放样品载板同时进行。

主权项

一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统，其特征在于：包括自动传输机构、升降气缸、样品载板及样品架，所述五腔体包括依次相连通的传输腔Ⅰ、装载腔Ⅰ(A)、工艺腔(B)、装载腔Ⅱ(C)及传输腔Ⅱ,其中装载腔Ⅰ(A)、工艺腔(B)及装载腔Ⅱ(C)内均设有升降气缸、样品载板及样品架，所述样品架与电机连接、并通过电机的驱动进行旋转，所述样品载板设置于样品架上，所述升降气缸对样品载板进行提拉或放下，所述自动传输机构携带样品载板在腔体间运动；所述自动传输机构包括自动取样叉Ⅰ(1)和自动取样叉Ⅱ(12)，其中自动取样叉Ⅰ(1)在传输腔Ⅰ、装载腔Ⅰ(A)和工艺腔(B)之间运动、并将装载腔Ⅰ(A)和工艺腔(B)内的样品载板进行自动交换；所述自动取样叉Ⅱ(12)在传输腔Ⅱ、装载腔Ⅱ(C)及工艺腔(B)之间运动、并将装载腔Ⅱ(C)和工艺腔(B)内的样品载板进行自动交换。