[发明专利]上部电极安装治具在审
| 申请号： | 201310563680.3 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104637851A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 黄耀乐;林志明;张永涛;廖子毅 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种电极安装治具，尤指一种用于干蚀刻机台的上部电极安装治具。所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。使用本安装治具，能够减少上部电极的安装时间，降低电极对位时因不慎碰撞而造成上电极的损坏现象，避免对位失误产生的残余材料堆积影响良率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 上部 电极 安装 | ||
【主权项】：
一种上部电极安装治具，其特征在于：所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司，未经上海和辉光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310563680.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：硅通孔工艺方法
- 下一篇：一种单电机驱动双摆臂转动的装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
