[发明专利]一种多晶硅铸锭炉热场结构有效
| 申请号： | 201310564192.4 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103556213B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;李军;马涛;徐文州;冯加保;虎春萍 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在进行半融工艺时避免子晶过度融化的多晶硅铸锭炉热场结构。该多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，坩埚护板的上端设置有尾气排放孔，还包括进气管，所述坩埚护板包括上护板与下护板，上护板与下护板拼接在一起。由于上护板与下护板是拼接在一起的，因此，上护板与下护板之间存在拼接缝隙，这样坩埚底部的热量会透过拼接缝隙快速的散失掉，从而避免子晶被过度融化，使子晶保持在半融状态。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体(1)，炉体(1)上设置有抽气孔(2)，所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4)，保温罩(4)放置在下托保温板(3)上，保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼，所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5)，所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上，坩埚(6)放置在石墨底板(8)上，坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧，侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧，石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方，顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部，坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13)，还包括进气管(14)，所述进气管(14)依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内，其特征在于：所述坩埚护板(7)包括上护板(71)与下护板(72)，上护板(71)与下护板(72)拼接在一起，所述下护板(72)的高度与铺设在坩埚(6)底部的子晶厚度一致。
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