[发明专利]一种制备金刚石薄膜的简单装置

摘要

本发明公开了一种制备金刚石薄膜的简单装置，包括有反应室，其特征在于：在所述的反应室下方设有气体入口，在所述反应室内与所述气体入口对应的位置上设有阴极，在所述的阴极上设有多个透气孔，在所述阴极上方设有水冷阳极，基片设置在水冷阳极上，所述的水冷阳极与阴极通过导线相连接。本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，制作方便，生产成本低，用于制备金刚石薄膜的简单装置。

主权项

一种制备金刚石薄膜的简单装置，包括有反应室（1），其特征在于：在所述的反应室（1）下方设有气体入口（2），在所述反应室（1）内与所述气体入口（2）对应的位置上设有阴极（3），在所述的阴极（3）上设有多个透气孔（4），在所述阴极（3）上方设有水冷阳极（5），基片（6）设置在水冷阳极（5）上。