[发明专利]一种全自动电子束沉积系统在审
| 申请号： | 201310567681.5 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630719A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 雷震霖;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于玻璃、塑料和陶瓷基体上镀各类薄膜的技术领域，具体地说是一种全自动电子束沉积系统。包括工艺腔、装载腔、传输腔、真空抽气系统及全自动传输机构，其中工艺腔、装载腔及传输腔依次相连通，所述工艺腔、装载腔及传输腔均与真空抽气系统连接，所述全自动传输机构将样品基片在工艺腔和装载腔中自动取放。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次换取样品载板后的抽气时间，让工艺腔的工艺过程与装载腔取放样品载板同时进行，并且除工艺腔门，装载腔门在洁净间以外其他的部分都可以放到普通环境中，使成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 电子束 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种全自动电子束沉积系统，其特征在于：包括工艺腔(2)、装载腔(5)、传输腔(7)、真空抽气系统及全自动传输机构，其中工艺腔(2)、装载腔(5)及传输腔(7)依次相连通，所述工艺腔(2)、装载腔(5)及传输腔(7)均与真空抽气系统连接，所述工艺腔(2)和装载腔(5)内的样品基片通过全自动传输机构自动取放。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;，未经中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310567681.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
