[发明专利]溅镀靶、透明导电膜及其制造方法，以及触控面板在审
| 申请号： | 201310571124.0 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630723A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 戈卡尔普·贝拉默戈鲁;朱浚斈;杨贵宝;王燕儒 | 申请（专利权）人： | 宸鸿科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/58;H01B5/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种溅镀靶，其特征在于，为掺杂杂原子之氧化锌铝所成的溅镀靶，其中所述杂原子为第2族元素、第5族元素、第10族元素或上述之组合，且所述杂原子之掺杂比例为0.5重量%至20重量%。采用本发明之溅镀靶，具有成本低、电阻温度系数高的优点。本发明亦提供使用此溅镀靶在基板上沉积形成薄膜之方法及使用此溅镀靶所制得之触控面板。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶 透明 导电 及其 制造 方法 以及 面板 | ||
【主权项】：
一种溅镀靶，其特征在于，为掺杂杂原子之氧化锌铝所成的溅镀靶，其中所述杂原子为第2族元素、第5族元素、第10族元素或上述之组合，且所述杂原子之掺杂比例为0.5重量%至20重量%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宸鸿科技（厦门）有限公司，未经宸鸿科技（厦门）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310571124.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
