[发明专利]一种3D-MEMS光开关

摘要

一种3D-MEMS光开关，包括：准直器阵列、PD阵列、楔方棱镜、分光三角棱镜、微机电系统MEMS微镜、以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器。本发明中，将PD阵列集成到核心光开关内部，简化了光开关架构和体积，采用楔方棱镜和分光三角棱镜分光，光信号部分透射到PD阵列用于检测光功率，从而核心光开关控制器根据PD阵列检测到的光信号的光功率调整MEMS微镜，使3D-MEMS光开关的插入损耗满足预设的衰减区间，本发明简化了空间光路的设计，有利于实现大规模3D-MEMS光开关，且节省了成本。

主权项

一种三维微机电系统3D‑MEMS光开关，包括输入端准直器阵列，输入端MEMS微镜，输出端MEMS微镜，输出端准直器阵列，其特征在于，还包括：楔方棱镜，分光三角棱镜，输入端功率检测PD阵列，输出端PD阵列和核心光开关控制器；所述楔方棱镜置于所述输入端准直器阵列和输入端MEMS微镜之间，用于对来自所述输入端准直器阵列的输入光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输入端MEMS微镜，将另一路光信号反射到所述输入端PD阵列；所述输入端PD阵列，用于检测所述楔方棱镜反射的输入光信号的光功率；所述输出端MEMS微镜，用于将来自所述输入端MEMS微镜的光信号反射到所述分光三角棱镜；所述分光三角棱镜置于所述输出端MEMS微镜和所述输出端准直器阵列之间，用于对来自所述输出端MEMS微镜的输出光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输出端准直器阵列，将另一路光信号反射到所述输出端PD阵列；所述输出端PD阵列，用于检测所述分光三角棱镜反射的输出光信号的光功率；所述核心光开关控制器，用于根据所述输入端PD阵列检测到的输入光信号的光功率和所述输出端PD阵列检测到的输出光信号的光功率，判断是否需要调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个，若需要调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个，则调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个。