[发明专利]一种基于脉冲激光的集成电路FIB快速定位方法有效
| 申请号： | 201310577122.2 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN103699710A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 杜守刚;范隆;李鹏;岳素格;陆时进;李建成 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于脉冲激光的集成电路FIB快速定位方法，根据集成电路版图所提供的布局布线信息，调整显微镜分辨率，找到需要做FIB的区域，然后利用脉冲激光轰击所述需要做FIB的区域，做出烧蚀光斑标记，需要做FIB的区域为集成电路版图中的金属线表面或者空白区域表面，采用本发明方法能够大大提高定位精度和定位效率，可用将传统定位方法大约2个小时左右缩短到20分钟以内，特别是对重复单元较大区域或顶层金属布局无特征参时，可以使其定位效率提高2～4倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 脉冲 激光 集成电路 fib 快速 定位 方法 | ||
【主权项】：
一种基于脉冲激光的集成电路FIB快速定位方法，其特征在于：根据集成电路版图所提供的布局布线信息，调整显微镜分辨率，找到需要做FIB的区域，然后利用脉冲激光轰击所述需要做FIB的区域，做出烧蚀光斑标记，所述需要做FIB的区域为集成电路版图中的金属线表面或者空白区域表面。
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