[发明专利]高纯安全气体源的制备方法有效
| 申请号： | 201310580359.6 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103638890A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王陆平;许从应;李英辉;马潇;朱颜;王仕华;王智 | 申请（专利权）人： | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/14 | 分类号： | B01J19/14;B01D53/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及高纯安全气体源的制备方法，在充满惰性气体环境中，将金属或金属前驱体加入装有吸附剂的钢瓶之中，在惰性气体环境或真空环境下，使金属成分均匀分布在吸附剂中并将其活化为对于气体杂质具有化学活性的物质，真空脱气后将高纯气体充装于钢瓶内。工艺简单平稳，易于控制，纯化效率高，由于金属载体采用的是吸附剂本身，制备过程非常安全简洁，可利用安全生产源已有设备，成本优势明显，特别适合大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 安全 气体 制备 方法 | ||
【主权项】：
高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：在充满惰性气体环境中，将金属或金属前驱体加入装有吸附剂的钢瓶之中，在惰性气体环境或真空环境下，使金属成分均匀分布在吸附剂中并将其活化为对于气体杂质具有化学活性的物质，真空脱气后将高纯安全气体充装于钢瓶内。
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