[发明专利]一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法

摘要

一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，以凝胶流延成型技术结合注凝成型和流延成型的优点，以醇类为溶剂，然后加入少量有机单体、交联剂、分散剂和增塑剂，球磨混合得到固含量高、粘度低和流动性好的浆料，再加入引发剂和催化剂，进行流延成型，在一定温度条件下引发单体聚合，AlN粉末均匀分布在高聚物形成的三维网络结构中。本发明所述的方法可制备出结构均匀，致密度高的AlN坯体和陶瓷。

主权项

一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，该方法的制备工艺如下：（1）将有机单体和交联剂加入有机溶剂配置成预混液，然后将预混液、分散剂和AlN陶瓷粉体混合球磨；球料比为0.5:1～3:1，有机溶剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的20%～100%，球磨时间为2～50h；所述有机单体是丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、山梨醇聚缩水甘油醚或海茵环氧树脂，所述交联剂为N,N’‑亚甲基双丙烯酰胺，所述有机溶剂为醇类，所述分散剂是聚甲基丙烯酸铵、PEI、磷酸酯或聚丙烯酸铵；（2）在得到的浆料中加入增塑剂，以增加AlN薄片的柔韧性，然后进行二次球磨；球磨时间为4h～30h；（3）将二次球磨得到的浆料进行真空除泡，同时加入引发剂加以搅拌，搅拌速度为30～100转/min，真空脱泡时间为5～30min；（4）将真空除泡得到的浆料进行流延操作；（5）薄片在固化一定时间后具有一定强度和韧性，然后进行干燥处理；坯体干燥到一定程度后，将坯体薄片从流延薄膜上剥离，然后进行切割和打孔，得到AlN陶瓷坯片。