[发明专利]一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法，该电极阵列主要用于细胞电特性测量。克服现有技术电极尺度较大的不足，提出一种纳米电极阵列方案，并利用激光干涉光刻技术方法通过直接或间接制造，提供了该纳米电极阵列的制造方法。以及利用该纳米电极阵列测量细胞电信号特性的方法，该纳米电极阵列可获得在亚细胞水平上揭示细胞细节信号的变化，有利于对细胞生物特性进行更好的研究，获得比以往更精细的结果，提高细胞电信号测量分辨率。同时本发明纳米电极阵列制造方法性能可靠，具有制造成本较低的优势。

主权项

一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构，其特征在于：包括基板和在基板上刻蚀的周期性纳米电极阵列；所述周期性纳米电极阵列为一组或两组独立线栅，每组线栅宽度为20nm－500nm，高度为20nm－200nm，周期为200nm－1000nm，所述两组线栅相距200nm－500nm。