[发明专利]基于两级调控的静电驱动大变形微机械驱动器有效
| 申请号： | 201310583495.0 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN103787263A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 田文超;扈江磊;赵丽敏 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710071 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于两级调控的静电驱动大变形微机械驱动器，包括：一微梁，所述微梁两侧向外延伸形成动齿电极；固定基座，所述固定基座两端设有定齿电极，所述定齿电极与所述动齿电极相交错组成调节电极；两放大机构，所述放大机构分别位于所述微梁两侧，该放大机构包括与微梁直接相接的调节梁和在固定基座两端设置的定位导向槽，定位导向槽与调节梁之间设有楔形块，定位导向槽用于限制楔形块仅在上下方向运动。通过楔形块在定位导向槽内的上下运动和改变调节电极上的调节电压，可以以此改变轴向力，实现驱动器的两级调控。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 两级 调控 静电 驱动 变形 微机 驱动器 | ||
【主权项】：
基于两级调控的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于，包括：一微梁(1)，所述微梁(1)两侧向外延伸形成动齿电极(5)；固定基座(2)，所述固定基座(2)两端设有定齿电极(6)，所述定齿电极(6)与所述动齿电极(5)相交错组成调节电极；两放大机构，所述放大机构分别位于所述微梁(1)两侧，该放大机构包括与微梁(1)直接相接的调节梁(7)和在固定基座(2)两端设置的定位导向槽(3)，定位导向槽(3)与调节梁(7)之间设有楔形块(4)，定位导向槽(3)用于限制楔形块(4)仅在上下方向运动。
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