[发明专利]一种红外探测器芯片的清洗方法

摘要

本发明公开了一种红外探测器芯片的清洗方法，属红外探测器器件制造工艺技术领域。本发明采用去蜡剂取代三氯乙烯清洗芯片表面残留的蜡，在常温条件下，得到的芯片不管正面还是背面残留物几乎没有，比常规工艺清洗更加干净。基于常规工艺中，芯片表面石蜡的去除是在三氯乙烯中长时间浸泡，然后用毛笔和棉球清洗。这种方法不但浪费时间，而且清洗过程中，背面的蜡容易残留，正面毛笔的力度也不易控制，太轻容易残留蜡，太重则会损伤铟柱，没有客观的标准。本发明特提出采用去蜡剂取代三氯乙烯清洗芯片表面的石蜡，这样既节省了时间，提高了效率，又使操作简单方便，减少了人为因素对工艺过程的影响。

主权项

一种红外探测器芯片清洗方法，其特征在于包括以下工艺步骤：1）将探测器芯片放入去蜡剂中浸泡，探测器芯片为线列芯片时芯片浸泡10分钟，探测器芯片为面阵芯片时芯片浸泡20分钟；2）将芯片从去蜡剂中取出，放入三氯乙烯中浸泡5分钟，溶解芯片表面的残留的去蜡液；3）将芯片放入乙醚中浸泡3分钟，去除芯片表面的三氯乙烯，此外下一步用丙酮去除光刻胶时，三氯乙烯与丙酮容易形成悬浮物，影响芯片的清洗；4）将乙醚浸泡过的芯片放入丙酮中，溶解光刻胶，浸泡时间为10分钟；5）去除光刻胶后的芯片放入酒精中浸泡5分钟，溶解芯片表面残留的丙酮溶液，最后将芯片取出吹干，镜检使用。