[发明专利]高温二次电子探测器收集组件及高温扫描电镜

摘要

本发明的一种高温二次电子探测器收集组件，包括标准二次电子探测器收集组件，还包括套设在其外的能够阻挡可见光和红外光的隔光套，且隔光套的一端为适合与光导管接头连接的接口端，隔光套的另一端为电子进入端；在本发明中，套设在标准二次电子探测器收集组件外的隔光套能阻挡样品在高温状态下发出的可见光和红外光，使得标准二次电子探测器收集组件能够避免吸收可见光和红外光进而产生白斑，保证标准二次电子探测器收集组件产生的图像能够正常反映高温状态下样品表面的变化。本发明的具有上述的高温二次电子探测器收集组件的高温扫描电镜，还包括能隔热的物镜保护组件，避免样品在高温状态下产生的热辐射影响物镜下极靴的性能。

主权项

一种高温二次电子探测器收集组件，包括标准二次电子探测器收集组件，其特征在于：还包括套设在所述标准二次电子探测器收集组件外的隔光套（10），所述隔光套（10）的材质能够阻挡可见光和红外光，且所述隔光套（10）的一端为适合与光导管接头连接的接口端（11），所述隔光套（10）的另一端为电子进入端（12）。