[发明专利]具有多个扫描架的干涉仪

摘要

一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

主权项

一种干涉仪，其包括：固定组件，所述固定组件包括基座、配置成将从光源发射的光分裂成光的第一和第二部分的分束器组件、以及用于反射所述光的第一部分的固定反射镜；相对于所述固定组件可移动的可移动组件，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架以及连接到所述下扫描架的用于反射所述光的第二部分的可移动反射镜，其中所述分束器组件还配置成将被反射的光的第一和第二部分组合成重组辐射束；一对内挠曲支承件，所述一对内挠曲支承件具有连接到所述基座的端部和连接到所述上扫描架的端部，允许所述上扫描架相对于所述基座的运动；以及一对外挠曲支承件，所述一对外挠曲支承件具有连接到所述上扫描架的端部和连接到所述下扫描架的端部，允许所述下扫描架相对于所述上扫描架的运动，其中所述上扫描架的运动和所述下扫描架的运动允许所述可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在所述扫描运动期间，所述扫描运动保持包含所述可移动反射镜的平面，平行于在所述可移动组件和所述固定组件之间的相应距离处的包含所述可移动反射镜的多个平面，并且其中所述分束器组件、所述固定反射镜和所述可移动反射镜定位在包含处于相应平坦状态时的所述一对内挠曲支承件的各平面之间的空间内。