[发明专利]一种掩模组件的组装方法在审
申请号: | 201310595549.5 | 申请日: | 2013-11-25 |
公开(公告)号: | CN103695840A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;魏志浩;赵录军;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种掩模组件的组装方法,包括外力施加步骤、张力施加步骤、对位安装步骤、外力撤销步骤,其特征在于,通过一次或多次进行张力施加步骤、对位安装步骤及外力撤销步骤,将一个或多个所述掩模单元安装于一个掩模框,安装完所有的掩模单元之后,外力全部撤销,即获得掩模组件。本发明提供的掩模组件的组装方法,可以使掩模框在安装第一个掩模单元之前的形状与安装完所有掩模单元之后的形状基本相同,即掩模框的形状基本保持不变,从而提高掩模组件的精度,进而改善产品的精度和质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 模组 组装 方法 | ||
【主权项】:
一种掩模组件的组装方法,包括:S1、外力施加步骤:对掩模框的一组对边施加预定的外力,所述被施加预定外力的所述一组对边构成所述掩模框的固定边;S2、张力施加步骤:使用一对张力装置分别夹持掩模单元两端的夹持部,所述张力装置在所述掩模单元的长度方向对所述掩模单元施加张力,使所述掩模单元具有一定的张力;S3、对位安装步骤:将具有一定张力的所述掩模单元通过对位步骤与所述掩模框对位,所述掩模单元与所述掩模框准确对位后将所述掩模单元的两端分别固定于所述固定边;S4、外力撤销步骤:完成所述对位安装步骤,所施加的所述预定的外力撤销一部分;其特征在于,通过一次或多次进行所述张力施加步骤、所述对位安装步骤及所述外力撤销步骤,将一个或多个所述掩模单元安装于一个所述掩模框,安装完所有的所述掩模单元之后,所述外力全部撤销,即获得掩模组件。
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