[发明专利]Ni-W-Cr合金靶材的制造方法在审
申请号: | 201310596415.5 | 申请日: | 2013-11-21 |
公开(公告)号: | CN104646930A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 张凤戈;李建奎;穆健刚;姚伟;姜海;梁俊才;文彬;刘健;陈鹏;王雷 | 申请(专利权)人: | 安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00;C22C19/05;C22C1/02;B22D7/00 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;张向琨 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种Ni-W-Cr合金靶材的制造方法。该方法依次包括配料步骤,熔炼、铸锭步骤,锻造步骤,一次热处理步骤,轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤。通过本发明方法制造的Ni-W-Cr合金靶材具有成品成分控制精确,成分分布均匀、无偏析,无夹杂,晶粒细小均匀,成品纯度高等优点,具体如下:成分控制精确≤0.2at%,平均晶粒度不大于16μm,纯度高达99.95%以上。 | ||
搜索关键词: | ni cr 合金 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种Ni‑W‑Cr合金靶材的制造方法,其特征在于,依次包括配料步骤,熔炼、铸锭步骤,锻造步骤,一次热处理步骤,轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤,其中:在所述熔炼、铸锭步骤中,所述熔炼是采用真空感应熔炼,其中精炼时间为10~15分钟;当合金液体温度达到液相线以上50~100℃时浇铸;在所述锻造步骤中,将铸锭在1050~1250℃条件下保温2~4小时后进行锻造以得到锻坯;在所述一次热处理步骤中,将锻坯在1200℃~1320℃条件下保温12~36小时进行热处理;在所述轧制步骤中,将一次热处理后的板坯在1050~1250℃条件下保温1~1.5小时后进行热轧,然后冷却至室温并在室温条件下进行冷轧,所述冷轧的总变形量为50%以上;在所述二次热处理步骤中,将冷轧后得到的板坯在900℃~1100℃条件下保温30~120分钟,出炉空冷。
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