[发明专利]干涉物镜驱动装置

摘要

本发明公开了一种干涉物镜驱动装置，其包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室；安装架和固定架；放大机构，其位于所述腔室中，所述放大机构包括相对设置的弧形金属框架、及与所述弧形金属框架一体成型且相对设置的金属板框架，且所述金属板框架设置于所述弧形金属框架之间，并与所述弧形金属框架相垂直；压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷内接于所述金属板框架之间，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且所述滚珠与所述压电陶瓷与所述金属板框架相内接一侧的壁面相抵靠。本发明的干涉物镜驱动装置通过放大机构将压电陶瓷的微小位移进行放大，从而使干涉物镜驱动装置获得了较大的位移范围。

主权项

一种干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述干涉物镜驱动装置包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室，所述腔室的一侧一体形成对称四杆机构，所述对称四杆机构由柔性铰链形成；安装架和固定架，所述安装架设置于所述对称四杆机构上，且与所述对称四杆机构一体成型，所述固定架与所述安装架相对地设置于所述本体的另一端；放大机构，其位于所述腔室中，所述放大机构包括相对设置的弧形金属框架、及与所述弧形金属框架一体成型且相对设置的金属板框架，且所述金属板框架设置于所述弧形金属框架之间，并与所述弧形金属框架相垂直，所述弧形金属框架的一侧通过一支撑件与所述对称四杆机构相连接，所述弧形金属框架的另一侧通过另一支撑件与所述本体连接；压电陶瓷、预紧顶丝及滚珠，所述压电陶瓷内接于所述金属板框架之间，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且所述滚珠抵靠在所述压电陶瓷与金属板框架相内接一侧的壁面。