[发明专利]一种减少低压炉管内杂质颗粒的方法

摘要

本发明公开了一种减少低压炉管内杂质颗粒的方法，其具体是采用对低压炉管进行升降温的处理，控制低压炉管的温度、升降温速率、气体类型，并根据一定间隔时间和清洗时间通入恒定压力的清洗气体的方法来达到改善低压炉管颗粒状况的目的，从而减少低压炉管工艺过程中产生的杂质颗粒，尤其是减少了炉管内壁的上的杂质颗粒。本发明所述的方法可有效改善低压炉管的杂质颗粒状况，与相同沉积工序相比，其产出的晶圆控片杂质颗粒明显减少，解决了由于多次沉积工序后残留的杂质颗粒引起的产品缺陷问题，延长低压炉管安全稳定作业的批次，提高相关扩散工艺的稳定性，减少对产品造成的缺陷影响，提高生产效率。

主权项

一种减少低压炉管内杂质颗粒的方法，其特征在于，提供一低压炉管，于该低压炉管中进行晶圆的沉积工艺；在取出所述晶圆后，对所述低压炉管进行升温操作；于该低压炉管中间隔地通入清洁气体，对低压炉管进行降温操作；将所述的低压炉管升温至待机温度，去除所述低压炉管中残留的杂质颗粒。