[发明专利]一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备

摘要

本发明属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备，该方法首先将炉体和电子枪抽真空，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，最后通过水冷传输带引导进入铸锭装置中，进行定向长晶铸锭工艺，得到多晶硅铸锭，至所有铸锭装置中定向长晶铸锭工艺完成，该设备包括电子束熔炼组件和连续铸锭组件，包括水冷的熔炼坩埚和该熔炼坩埚一侧设有的水冷传输带，铸锭装置为3-6台，固定安装于旋转平台上，本发明首次提出了电子束熔炼除氧的工艺方法和用途，实现了电子束除氧的效果，同时结合连续铸锭，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。

主权项

一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法，其特征在于：首先将炉体和电子枪抽真空，预热电子枪；然后通过加料装置向电子束熔炼炉熔炼坩埚中连续加入多晶硅料，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；初步除氧后的多晶硅液进入水冷传输带并在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，得到除氧后的多晶硅液；最后将除氧后的多晶硅液通过导流口引导进入铸锭装置中，进行定向长晶铸锭工艺，得到多晶硅铸锭，待一台铸锭装置定向长晶铸锭工艺完成后，通过转动旋转平台使安装于其上的另一个铸锭装置位于导流口下方，继续进行定向长晶铸锭工艺，至所有铸锭装置中定向长晶铸锭工艺完成。