[发明专利]一种压电双晶片制备方法有效
申请号: | 201310604896.X | 申请日: | 2013-11-26 |
公开(公告)号: | CN103647021B | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 王素贞 | 申请(专利权)人: | 重庆中镭科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/293 | 分类号: | H01L41/293 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400800 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明的一种压电双晶片制备方法,纤维板预浸料在高温定向压力作用下使纤维板预浸料自身含有的未固化环氧树脂的熔化、扩散、固化实现中间支撑片与压电体之间的粘接,实现压电体与中间支撑片的同时固化成型。获得的压电双晶片具有工作可靠、寿命长的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 双晶 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种压电双晶片制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步:将带电极的下压电体(1)和带电极的上压电体(2)采用水洗、酒精洗和丙酮洗,并在80-150℃烘干待用;第二步:将未固化的纤维板预浸料切割成需要的尺寸待用;第三步:将带电极的下压电体(1)、带电极的上压电体(2)、未固化的纤维板预浸料(3)、引出电极铜箔(4)按照下压电体‑引出电极铜箔‑纤维板预浸料‑引出电极铜箔‑上压电体的方式相互叠在一起,形成多层组合体;第四步:将步骤三的多层组合体放在带定向施加压力功能的加热设备中固化,固化压力2‑100kg/cm2,固化温度120‑210℃,固化时间60‑240min;第五步:将步骤四中固化后的双晶片按照一定的极化方式极化,极化温度为20‑150℃,极化电压1000-5000V/mm,极化时间10‑60min,获得具有压电效应的压电双晶片;第六步:将压电双晶片进行多次切割或磨削,形成特殊尺寸的压电双晶片,加工方式包括为划片、外圆切割、内圆切割、平面磨、外圆磨。
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