[发明专利]测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法

摘要

本发明公开了一种测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法，即本系统将氦离子化检测器和氢火焰检测器以及七阀七柱、三个样品定量环整合于一个分析系统，实现在一个分析系统上检测多种高纯气体，如高纯氨、高纯氧、高纯氮、高纯氢中的多种杂质组分，如氮气、氢气、氧气/氩气、一氧化碳、二氧化碳及甲烷、乙烷/乙烯、乙炔、C3烃类杂质；本方法通过调整阀的开关，使高纯气体中杂质经色谱柱分离后分别由氦离子化检测器和氢火焰检测器检测得到杂质的测定数据。本分析系统可检测多种高纯工业气体中的多种杂质成分，降低了测定成本；本方法满足高纯气体分析的灵敏度要求及各杂质气体检出限要求，大大提高了测定分析效率。

主权项

一种测定高纯气体中杂质成分的分析系统，其特征在于：本分析系统包括十通阀、第一六通阀、第二六通阀、第三六通阀、第四六通阀、第一四通阀、第二四通阀、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱、脱氧柱、第一样品定量环、第二样品定量环、第三样品定量环、氦离子化检测器和氢火焰检测器，所述十通阀的第一端口连接所述第二样品定量环的输入端、第八端口连接所述第二样品定量环的输出端、第四端口连接所述第一色谱柱的输入端、第七端口连接所述第一色谱柱的输出端、第二端口和第五端口为载气输入端、第三端口连接所述第二色谱柱的输入端、第六端口为载气排空端、第九端口为样品输出端、第十端口连接所述第二六通阀的第三端口，所述第一六通阀的第一端口为载气排空端、第二端口为载气输入端、第三端口连接所述第三色谱柱的输入端、第六端口连接所述第三色谱柱的输出端、第四端口连接所述第二色谱柱的输出端、第五端口连接所述第二四通阀的第四端口，所述第二六通阀的第一端口连接所述第五色谱柱输入端、第二端口连接所述第一样品定量环输出端、第五端口连接所述第一样品定量环输入端、第四端口为样品输入端、第六端口为载气输入端，所述第三六通阀的第一端口为载气排空端、第二端口为载气输入端、第三端口连接所述脱氧柱输入端、第六端口连接所述脱氧柱输出端、第四端口连接所述第一四通阀的第四端口、第五端口连接所述第四色谱柱输入端，所述第一四通阀的第一端口为载气输入端、第二端口为载气排空端、第三端口连接所述第五色谱柱输出端，所述第二四通阀的第一端口连接所述氦离子化检测器输入端、第二端口连接所述第四色谱柱输出端、第三端口为载气排空端，所述第四六通阀的第一端口连接所述第三样品定量环输出端、第四端口连接所述第三样品定量环输入端、第二端口连接所述第六色谱柱输入端、第三端口为载气输入端、第五端口为样品输入端、第六端口为样品输出端，所述第六色谱柱输出端连接所述氢火焰检测器输入端。