[发明专利]一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法在审
| 申请号： | 201310609888.4 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103590022A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 巨少华;彭金辉;张利华;郭胜惠;郭磊;陈玉祥 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C23C18/14 | 分类号： | C23C18/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，属于无机材料技术领域。首先将一种或两种可溶性金属盐与水混合均匀配置成涂膜液，然后将涂膜液经超声波雾化成小细雾滴；将上述步骤得到的小细雾滴在载气的带动下，经导管和雾化喷嘴引入到微波环境中，小细雾滴经雾化喷嘴喷溅到已被微波加热到300～1000℃的衬底上，雾滴迅速干燥和发生热解并聚集在衬底上制备得到薄膜。该方法工艺路线简单，反应过程快速平稳，产生的废气经吸收处理后，清洁无污染，生产效率高，产品质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 雾化 微波 制备 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种超声波雾化‑微波热解制备薄膜的方法，其特征在于具体步骤如下：（1）首先将一种或两种可溶性金属盐与水混合均匀配置成0.001～1.5mol/L的涂膜液，然后将涂膜液经超声波雾化成小细雾滴；（2）步骤（1）得到的小细雾滴在载气的带动下，经导管和雾化喷嘴引入到微波环境中，小细雾滴经雾化喷嘴喷溅到已被微波加热到300～1000℃的衬底上，雾滴迅速干燥和发生热解并聚集在衬底上制备得到薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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