[发明专利]一种掩模组件的组装方法在审
| 申请号： | 201310613959.8 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103695841A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎;许镭芳;王峰 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模组件的组装方法，包括安装遮蔽条步骤、安装掩模单元步骤，遮蔽条遮挡相邻所述掩模单元之间的缝隙，且遮蔽条不会对所述掩模单元上的掩模图案区域产生遮挡。本发明提供的掩模组件的组装方法，在安装掩模单元步骤中首先对掩模框的固定边施加预定外力，每次安装完一个掩模单元后外力撤销一部分，当安装完所有掩模单元后外力全部撤销，如此可以使掩模框在安装第一个掩模单元之前的形状与安装完所有掩模单元之后的形状基本相同，遮蔽条对掩模单元还具有支撑作用，防止掩模单元因自身重力作用产生下垂，从而提高掩模组件的精度，进而改善产品的精度和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模组 组装 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模组件的组装方法，包括：S1、安装遮蔽条步骤：将一个或多个遮蔽条安装于掩模框的一组对边，所述一组对边构成所述掩模框的固定边；S2、安装掩模单元步骤：将一个或多个掩模单元安装于掩模框的固定边；其特征在于，所述遮蔽条遮挡相邻所述掩模单元之间的缝隙，且所述遮蔽条不会对所述掩模单元上的掩模图案区域产生遮挡。
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