[发明专利]金属-介质-金属结构之光调制器及其制造方法在审
| 申请号： | 201310616229.3 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103645571A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 饶蕾 | 申请（专利权）人： | 上海电机学院 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种金属-介质-金属结构之光调制器，包括：中间电光材料介质层；具有第一周期性空气孔的第一金属薄膜和具有第二周期性空气孔的第二金属薄膜，第一金属薄膜和第二金属薄膜分别设置在中间光电材料介质层的两侧；以及第一金属电极和第二金属电极，分别与第一金属薄膜和第二金属薄膜连接，并用于加载外部电压。本发明通过制备金属-介质-金属结构之光调制器，并利用第一金属薄膜与中间光电材料介质层之交界处以及第二金属薄膜与中间光电材料介质层之交界处激励的表面等离子体激元效应实现对入射光的增强透射。同时，利用中间电光材料介质层的电光效应实现外加电场对入射光的光调制，整体结构紧凑、调制速率快、调制深度大。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 介质 金属结构 调制器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种金属‑介质‑金属结构之光调制器，其特征在于，所述金属‑介质‑金属结构之光调制器包括： 中间电光材料介质层，在所述中间电光材料介质层的两侧加载外部电压时其介电常数发生改变； 具有第一周期性空气孔的第一金属薄膜和具有第二周期性空气孔的第二金属薄膜，所述第一金属薄膜和所述第二金属薄膜分别设置在所述中间光电材料介质层的两侧；以及， 第一金属电极和第二金属电极，所述第一金属电极与所述第一金属薄膜连接，所述第二金属电极与所述第二金属薄膜连接，并用于加载所述外部电压。
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