[发明专利]一种稀土钡铜氧高温超导膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种稀土钡铜氧高温超导膜的制备方法，包括：a)将稀土金属盐、钡盐、铜盐和掺杂元素化合物按比例称量分散于溶剂中，得前驱物，掺杂元素化合物在300-650℃和氧气氛围下能生成掺杂元素的氧化物；b)将前驱物涂于基底上形成前驱膜；c)前驱膜置入热处理炉中，通入氧气，炉温升至300-650℃并保温0-5小时，并在炉温达到80-120℃时通入水蒸气直到完成热分解；d)通入氧氮混合气和水蒸气，将炉温升至700-825℃并保温20-250分钟，在保温时间的最后1-30%时间内，停止通入水蒸气；e)在干燥的氧气下，将炉温降至400-500℃并保温0-240分钟，得到产品。本发明得到的稀土钡铜氧高温超导膜的厚度在300nm以上，超导临界温度高于90K，在77K温度、自场条件下的临界电流密度高于1mA/cm2。

主权项

一种稀土钡铜氧高温超导膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a)将稀土金属盐、钡盐、铜盐和掺杂元素化合物按比例称量并分散于溶剂中，搅拌后得到均匀的前驱物，所述掺杂元素化合物在300℃‑650℃和氧气氛围下能生成掺杂元素的氧化物；b)将所述前驱物涂覆于基底上形成前驱膜；c)将所述前驱膜置入热处理炉中，以0.1米/分钟‑10米/分钟的流速通入高纯氧气流作为热处理气氛，将炉温在升温速率为1℃/分钟‑1500℃/分钟下升至300℃‑650℃并保温0‑5小时，并在炉温达到80℃‑120℃内的一温度时增加水蒸气的通入直到完成热分解，所述水蒸气的分压为0.7‑90kPa；d)以氧氮混合气为热处理气氛，所述氧氮混合气的气体流速为1米/分钟‑100米/分钟，其中氧气的含量为50ppm‑500ppm，其余为氮气，并通入水蒸气，所述水蒸气分压为0.7‑90kPa，将炉温在升温速率为10℃/分钟‑100℃/分钟下继续升至700℃‑825℃并保温20分钟‑250分钟，在保温时间的最后1%‑30%时间内，停止水蒸气的通入，完成烧结晶化；e)在流速为0.1米/分钟‑10米/分钟的干燥的高纯氧气下，将炉温降至400℃‑500℃并保温0分钟‑240分钟，完成充氧，得到所述稀土钡铜氧高温超导膜。