[发明专利]光子传感器以及制造该传感器的方法有效
申请号: | 201310624774.7 | 申请日: | 2013-11-28 |
公开(公告)号: | CN103852161A | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | P·M·拉姆伯金;W·A·拉尼 | 申请(专利权)人: | 美国亚德诺半导体公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本申请涉及光子传感器以及制造该传感器的方法。一种光子传感器,包括:平台、平台上的温度传感器、以及形成在平台上或者作为平台一部分的结构。 | ||
搜索关键词: | 光子 传感器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种光子传感器,包括:由至少一个修长元件支撑的平台;平台上的温度传感器;以及形成在平台上或者作为平台一部分的结构。
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