[发明专利]集成光学透镜检测器针孔及集成光学透镜检测器有效
| 申请号： | 201310625693.9 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103645034A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘小虎;陈力钧;郑海昌;朱骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成光学透镜检测器针孔，包括透镜本体和通光体，所述通光体上具有通光孔，所述通光体设置于透镜本体内部，且所述通光体上表面与透镜本体的上表面平行。以改进现有技术中集成光学透镜检测器针孔的结构，以避免了集成光学透镜检测器针孔中产生SiO2等堆积物对投影透镜波面检测造成影响，从而提高了集成光学透镜检测器的波面检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光学 透镜 检测器 针孔 | ||
【主权项】：
一种集成光学透镜检测器针孔，其特征在于，包括透镜本体和通光体，所述通光体上具有通光孔，所述通光体设置于透镜本体内部，且所述通光体上表面与透镜本体的上表面平行。
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