[发明专利]硅通孔形成方法有效
| 申请号： | 201310626965.7 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103646917A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 严利均;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅通孔形成方法，包括：根据待形成的硅通孔获取第一刻蚀阶段和与第二刻蚀阶段；在第一刻蚀温度下，在第一刻蚀阶段采用第一博世工艺对所述硅衬底进行刻蚀，形成第一通孔；在第二刻蚀温度下，在第二刻蚀阶段沿第一通孔采用第二博世工艺对所述硅衬底进行刻蚀直至形成硅通孔，所述第二博世工艺包括：采用第一刻蚀对所述硅衬底进行刻蚀，形成开口；采用钝化沉积在所述开口的侧壁和底部形成保护层；依次循环采用所述第一刻蚀、钝化沉积直至形成硅通孔；其中，第二刻蚀温度小于第一刻蚀温度，或第二刻蚀温度大于第一刻蚀温度。本发明的硅通孔形成方法形成的硅通孔质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 硅通孔 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种硅通孔形成方法，其特征在于，提供待刻蚀硅衬底；根据待形成的硅通孔获取第一刻蚀阶段和与第一刻蚀阶段对应的第二刻蚀阶段；在第一刻蚀温度下，在第一刻蚀阶段采用第一博世工艺对所述硅衬底进行刻蚀，所述第一博世工艺包括：采用第一刻蚀对所述硅衬底进行刻蚀，形成开口；采用钝化沉积在所述开口的侧壁和底部形成保护层；依次循环采用所述第一刻蚀、钝化沉积直至第一刻蚀阶段完成，形成第一通孔；在第二刻蚀温度下，在第二刻蚀阶段沿第一通孔采用第二博世工艺对所述硅衬底进行刻蚀直至形成硅通孔，所述第二博世工艺包括：采用第一刻蚀对所述硅衬底进行刻蚀，形成开口；采用钝化沉积在所述开口的侧壁和底部形成保护层；依次循环采用所述第一刻蚀、钝化沉积直至形成硅通孔；其中，第二刻蚀温度小于第一刻蚀温度，或第二刻蚀温度大于第一刻蚀温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310626965.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：废热利用设备
- 下一篇：传送皮带的闭环磁性定位
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
