[发明专利]一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置

摘要

本发明公开了一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，加热管法兰向下连接波纹管组件，波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，加热管通过加热管法兰连接升降机构。由于镀膜时加热管不在镀膜室内，其上不会附着残留镀层，解决了加热管所致二次污染问题；本发明结构简单紧凑，省去清理加热管工作，提高了镀层质量和工作效率，降低了生产成本。

主权项

一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，所述加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，所述加热管法兰向下连接波纹管组件，所述波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，所述加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，所述加热管通过加热管法兰连接所述升降机构，所述升降机构驱动加热管法兰，带动加热管下降，使加热管进入镀膜室进行加热抽气作业，再驱动加热管上升使其离开镀膜室以便在真空状态下进行镀膜作业。