[发明专利]鎓化合物以及制备其的方法在审
| 申请号： | 201310637227.2 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103664870A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | P·J·拉宝美 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07D335/16 | 分类号： | C07D335/16;C07C309/12;C07C303/32;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 鎓化合物以及制备其的方法。一种新的鎓盐化合物和用于合成这些化合物的方法。本发明优选的方法包括(a)提供包含具有吸电子基团的磺酸盐组分的鎓盐化合物，其中该磺酸盐组分包含吸电子基团；以及(b)用卤化物盐处理该鎓盐以形成不同的鎓化合物盐。本发明的鎓化合物用作光致抗蚀剂组合物中的生酸剂组分。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制备鎓盐化合物的方法，所述方法包括：(a)提供包含磺酸盐组分的鎓盐化合物，其中该磺酸盐组分包含吸电子基团；和(b)用卤化物盐处理该鎓盐化合物以形成不同的鎓化合物盐。
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