[发明专利]生酸剂化合物和含有其的光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201310637230.4 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103728836B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | P·J·拉宝美;A·A·瑞奇福德;V·简恩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 生酸剂化合物和含有其的光致抗蚀剂组合物。提供特别用作光致抗蚀剂组合物组分的生酸剂化合物。本发明的生酸剂化合物包含1)环锍盐和2)共价连接的光致酸不稳定性基团。在一个方面，噻吨酮生酸剂化合物是特别优选的，包括包含(i)噻吨酮部分和(ii)一个或多个共价连接的酸不稳定性基团的生酸剂化合物。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包括(a)聚合物；和(b)生酸剂，所述生酸剂包含(i)噻吨酮部分；和(ii)一个或多个共价连接的酸不稳定性基团。 | ||
| 搜索关键词： | 生酸剂 化合物 含有 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包括：(a)聚合物；和(b)包含式(I)结构的生酸剂化合物：其中：Z是抗衡阴离子；R是非氢取代基；X是>C＝O；每个T和每个T'是相同或不同的非氢取代基；每个L和每个L'是相同或不同的酸不稳定性基团，且T、L、T'和L'非氢基团可以一起形成环；m和m'各自独立的为0、1、2、3或4；并且n和n'各自独立的为0、1、2、3或4，其中如果R不包含酸不稳定性基团，那么n和n'中的至少一个大于0，由此生酸剂化合物包括至少一个酸不稳定性基团。
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