[发明专利]一种纳米薄膜转运工装

摘要

本发明公开了一种纳米薄膜转运工装。使用本发明能够通过把吸附压强控制到低于7Pa(吸附50mg物体)，从而达到提起薄膜并实现转移的目的。本发明的纳米薄膜转运工装，包括中空的结构盒体、气流发生部分、吸头、触膜网板和密封圈，通过气流发生部分在结构盒体内的中空腔体中产生向上或向下的气流，气流通过吸头上镶嵌的触摸网板将纳米薄膜吸附或放下，本发明还可以进一步包括气流调节部分，通过调节气流气压改变吸附力。本发明转运纳米薄膜平稳、可靠，并且保证了薄膜表面的清洁度，避免静电对薄膜及设备造成损伤，可用于厚度低于0.5μm、质量小于50mg各类薄膜的拾取、转运，整体质量轻、结构强度高，且操作简便、易于控制。

主权项

一种纳米薄膜转运工装，其特征在于，包括：中空的结构盒体、气流发生部分、吸头、触膜网板和密封圈；其中，气流发生部分安装在结构盒体的内部上端，用来在结构盒体内的中空腔体中产生向上或向下的气流；吸头安装在结构盒体的下部末端，吸头向上突起部分与结构盒体下部螺纹连接，结构盒体与吸头之间安装有O型密封圈；触膜网板为蜂窝状网板，镶嵌在吸头中。