[发明专利]一种晶片泡酸专用花篮无效
| 申请号： | 201310645045.X | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103606531A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭城;吕明;纪大鹏;赵海玲;徐明星;郭英云 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 李茜 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于：所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。本发明的有益效果是：承载花篮形状与晶片形状一致，减少晶片与花篮间隙，从而减轻两者间的碰撞，减少破损，增加操作用手柄，便于作员材料泡酸、流转，提高操作的安全性。结构简单、制作容易、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 专用 花篮 | ||
【主权项】：
一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于：所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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