[发明专利]二次先镀后蚀金属框减法埋芯片倒装凸点结构及工艺方法有效

专利信息
申请号: 201310645356.6 申请日: 2013-12-05
公开(公告)号: CN103646935A 公开(公告)日: 2014-03-19
发明(设计)人: 王新潮;梁志忠;章春燕 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L23/495 分类号: H01L23/495;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人: 唐纫兰
地址: 214434 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种二次先镀后蚀金属框减法埋芯片倒装凸点结构及工艺方法,所述结构包括金属基板框(1),所述金属基板框(1)内部设置有基岛(2)和引脚(3),所述引脚(3)呈台阶状,所述基岛(2)背面与引脚(3)的台阶面齐平,所述基岛(2)背面与引脚(3)的台阶面上通过底部填充胶(5)倒装有芯片(6),所述金属基板框(1)内部区域填充有塑封料(7),所述塑封料(7)正面与引脚(3)台阶面齐平,所述塑封料(7)背面与金属基板框(1)背面齐平,所述基岛(2)正面、引脚(3)的正面和背面以及金属基板框(1)的正面和背面设置有抗氧化层(4),所述引脚(3)背面设置有金属球(9)。本发明的有益效果是:它能够解决传统金属引线框的板厚之中无法埋入物件而限制金属引线框的功能性和应用性能。
搜索关键词: 二次 先镀后蚀 金属 减法 芯片 倒装 结构 工艺 方法
【主权项】:
一种二次先镀后蚀金属框减法埋芯片倒装凸点结构,其特征在于:它包括金属基板框(1),所述金属基板框(1)内部设置有基岛(2)和引脚(3),所述引脚(3)呈台阶状,所述基岛(2)和引脚(3)的正面与金属基板框(1)正面齐平,所述引脚(3)的背面与金属基板框(1)的背面齐平,所述基岛(2)背面与引脚(3)的台阶面齐平,所述基岛(2)背面与引脚(3)的台阶面上通过底部填充胶(5)倒装有芯片(6),所述金属基板框(1)内部区域填充有塑封料(7),所述塑封料(7)正面与引脚(3)台阶面齐平,所述塑封料(7)背面与金属基板框(1)背面齐平,所述基岛(2)正面、引脚(3)的正面和背面以及金属基板框(1)的正面和背面设置有抗氧化层(4),所述引脚(3)背面设置有金属球(8)。
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