[发明专利]背板的形成方法在审
| 申请号： | 201310645653.0 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104668897A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种背板的形成方法，包括：提供第一底板坯料和第一盖板坯料；对所述第一底板坯料进行锻打，形成第二底板坯料；对所述第一盖板坯料进行锻打，形成第二盖板坯料；对所述第二底板坯料进行退火，形成底板；对所述第二盖板坯料进行退火，形成盖板；将所述底板与所述盖板进行焊接，形成背板。采用本发明的方法形成的背板应用在磁控溅镀工艺中，能够提高基片上形成的膜层质量，降低磁控溅镀工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种背板的形成方法，其特征在于，包括：提供第一底板坯料和第一盖板坯料；对所述第一底板坯料进行锻打，形成第二底板坯料；对所述第一盖板坯料进行锻打，形成第二盖板坯料；对所述第二底板坯料进行退火，形成底板；对所述第二盖板坯料进行退火，形成盖板；将所述底板与所述盖板进行焊接，形成背板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司;，未经宁波江丰电子材料股份有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310645653.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
