[发明专利]半导体感测装置

摘要

本发明公开一种半导体感测装置。半导体感测装置包括多个像素以及一相位光栅结构(phase grating structure)。相位光栅结构设置于该些像素上，相位光栅结构具有多个周期性排列图案(periodically arranged patterns)。

主权项

1.一种半导体感测装置，包括：多个像素；平坦层，形成于该些像素上；钝化层，形成于该平坦层上；盖氧化层，形成于该钝化层上；氮化物层，形成于该盖氧化层上；以及保护层，形成于该氮化物层上，该保护层包括堆叠的至少一氧化层及至少一另一氮化物层；其中该半导体感测装置还包括相位光栅结构(phase grating structure)，该相位光栅结构设置于该些像素上，该相位光栅结构具有多个周期性排列图案(periodically arranged patterns)，该相位光栅结构的高度可调变，以调变该半导体感测装置的外观颜色。