[发明专利]石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法及装置无效
| 申请号： | 201310646662.1 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN103663939A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 花宁;王友军;孔敏;隋镁深;王鑫;李怀阳;石暐 | 申请（专利权）人： | 北京金格兰石英玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法及装置，使用中频加热炉将石英玻璃坨加热至熔融状态，利用牵引系统通过下料口熔拉成棒状毛坯，冷却后得到晶圆用石英玻璃毛坯棒料。熔拉过程中，利用测径仪测得的毛坯棒料的直径信息控制熔拉速度调节所述毛坯棒料尺寸。可以根据需要直接拉制直径8英寸以下的各种常规及异形晶圆用石英玻璃毛坯棒料，通过改变下料口的结构可以熔拉方形、六边形、八边形等异形的晶圆用毛坯。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 晶圆用 毛坯 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，包括步骤：使用中频加热炉将石英玻璃坨加热至熔融状态，利用牵引系统通过下料口熔拉成棒状毛坯，冷却后得到晶圆用石英玻璃毛坯棒料。
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