[发明专利]手动探针台

摘要

手动探针台，属于探针台技术领域。包括探针台底座、承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调装置，承片台座置于快速寻址机构的导轨上，其特征是，锁紧机构由真空吸盘构成，真空吸盘与探针台底座的台面贴合，所述微调装置设置在真空吸盘上，真空吸盘与快速寻址机构连接，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；真空吸盘下表面设有真空室，真空室设置在真空吸盘与探针台底座之间，并与探针台底座的台面贴合。本发明结构简单合理、易实现，能在芯片测试对准过程中，在完成快速粗对准后将快速寻址机构锁紧，实施微调动作。

主权项

一种手动探针台，包括探针台底座、安装在探针台底座立柱上的显微镜、升降台、固定在升降台上用于安装测试探针的探针架、用于放置待测试芯片的承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调装置，所述探针台底座下面设有电器盒，所述承片台座置于快速寻址机构的导轨上，其特征是，所述锁紧机构由真空吸盘构成，真空吸盘与探针台底座的台面贴合，所述微调装置设置在真空吸盘上，真空吸盘与快速寻址机构连接，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；所述真空吸盘下表面设有真空室，真空室设置在真空吸盘与探针台底座之间，并与探针台底座的台面贴合。