[发明专利]使用残余气体分析仪的真空室测量

摘要

本发明涉及使用残余气体分析仪的真空室测量。具体而言，一种用于测量真空工具的客体真空室中的气氛的方法包括：使用残余气体分析仪(RGA)来测量在主体真空室中气氛的第一组成。在测量第一组成期间，主体真空室和客体真空室并不联接。将主体真空室联接到客体真空室，因此在每一个中的气氛可在主体真空室中混合。在联接了室后，使用RGA来测量在主体真空室中的气氛的第二组成。使用处理器，使用测量的第一组成和第二组成来自动确定客体气氛的组成。真空工具可包括主体室和客体室、阀、RGA和处理器，处理器被配置成控制阀以执行这种方法或其它方法。

主权项

1.一种测量真空工具的客体真空室中的气氛的方法，所述方法包括：使用残余气体分析仪来测量在所述真空工具的主体真空室中的气氛的第一组成，其中，在测量所述第一组成期间，所述主体真空室和客体真空室不联接；将所述主体真空室联接到所述客体真空室，使得在所述主体真空室中的气氛与所述客体真空室中的气氛混合，以在所述主体真空室中形成混合气氛；在联接了所述室之后，使用所述残余气体分析仪来测量在所述主体真空室中的混合气氛的第二组成；以及使用处理器，使用所述测量的第一组成和第二组成来自动确定在所述客体真空室中的气氛的组成。