[发明专利]湿洗铝腔室部件的方法有效
| 申请号： | 201310653292.4 | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103911643A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 石洪;施范章;布莱恩·麦科米林;约翰·多尔蒂;方言;杜安·奥特卡;黄拓川;斯瓦卡米·拉马纳坦 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D11/18 | 分类号： | C25D11/18;C25D11/24 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种湿洗铝腔室部件的方法，也即湿洗铝部件的方法，该铝部件具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面。该方法包含：以约35至约45psi向铝部件的表面喷射CO2干冰；遮蔽铝部件以隐藏裸铝表面；将被喷射干冰并被遮蔽的铝部件浸泡在约60℃或约60℃以上的去离子水中；在完成在去离子水中的浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗铝部件；以及以所列举的顺序重复所述浸泡和擦洗至少附加的3次。 | ||
| 搜索关键词： | 湿洗铝腔室 部件 方法 | ||
【主权项】：
一种湿洗铝部件的方法，该铝部件包括裸铝表面和阳极氧化的铝表面，该方法包括：以约35至约45psi向所述铝部件的表面喷射CO2干冰；遮蔽所述铝部件以隐藏所述裸铝表面；将被喷射干冰并被遮蔽的所述铝部件浸泡在约60℃或在约60℃以上的去离子水中；在完成在去离子水中的所述浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗所述铝部件；以及以所列举的顺序重复所述浸泡并擦洗至少附加的3次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310653292.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
