[发明专利]一种铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备方法

摘要

一种铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备方法，它涉及一种铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备方法，本发明的目的是要解决现有的高介电聚合物-陶瓷复合薄膜的介电综合性能较差，不能满足微电子领域高介电柔性薄膜需求的问题，本发明的制备方法为：一、称量原料；二、原料的干燥；三、制备混合溶液A；四、制备混合溶液B；五、制备聚酰胺酸溶液；六、制备亚胺化后的玻璃板；七、脱模、制样，即完成。本发明的铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的介电综合性能优异，可满足微电子领域高介电柔性薄膜的需求。本发明应用于无机/有机复合材料的制备技术领域。

主权项

一种铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备方法，其特征在于铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备方法是通过以下步骤进行的：一、按铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜中铌酸钾钠的体积分数为5～40%的标准称量4,4′—二氨基二苯醚、均苯四甲酸酐和铌酸钾钠；二、将步骤一称取的4,4′—二氨基二苯醚、均苯四甲酸酐和铌酸钾钠在温度为120℃的条件下烘干22～26h；三、向N,N‑二甲基乙酰胺中加入步骤二烘干后的4,4′—二氨基二苯醚中，搅拌至4,4′—二氨基二苯醚溶解，得到混合溶液A；四、将步骤二烘干的铌酸钾钠加入到混合溶液A中，超声20～40min，得到混合溶液B；五、将步骤二烘干的均苯四甲酸酐均分成六份，然后依次加入到混合溶液B中，每加一份均苯四甲酸酐后搅拌6～10min，加入第六份均苯四甲酸酐后，继续搅拌2h，然后静置12h，得到聚酰胺酸溶液；六、用自动涂膜器将聚酰胺酸溶液均匀的刮在玻璃板上，然后放入烘箱中，在80℃的条件下加热1h，然后在100℃的条件下加热1h，再在200℃的条件下加热1h，然后在300℃的条件下加热1h，再在330℃的条件下加热1h，得到亚胺化后的玻璃板；七、将亚胺化后的玻璃板放入蒸馏水中浸泡25～35min，然后将膜取下，再依次用蒸馏水、丙酮、乙醇进行清洗，然后烘干，得到铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜，即完成铌酸钾钠/聚酰亚胺高介电薄膜的制备，其中步骤三中N,N‑二甲基乙酰胺按聚酰胺酸溶液中固含量为11%的标准量取。