[发明专利]电熔丝结构在审
| 申请号： | 201310654425.X | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104701294A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 廖淼 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电熔丝结构，包括：基底，在所述基底中形成有浅沟槽隔离结构；位于所述浅沟槽隔离结构上的电熔丝，所述电熔丝包括阳极、阴极、和位于所述阳极和阴极之间的熔丝；所述熔丝包括本体部、和位于所述本体部侧壁且沿所述本体部长度方向分布的多个凸部，位于所述本体部同一侧壁的相邻两凸部之间具有空隙。本技术方案中，熔丝的线条边缘粗糙度增加，包括多个凸部的熔丝形成工艺是可控的，利用凸部来增加熔丝的线条粗糙度的工艺是可控的，可得到具有符合要求的线条边缘粗糙度的电熔丝。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝 结构 | ||
【主权项】：
一种电熔丝结构，其特征在于，包括：基底，在所述基底中形成有浅沟槽隔离结构；位于所述浅沟槽隔离结构上的电熔丝，所述电熔丝包括阳极、阴极、和位于所述阳极和阴极之间的熔丝；所述熔丝包括本体部、和位于所述本体部侧壁且沿所述本体部长度方向分布的多个凸部，位于所述本体部同一侧壁的相邻两凸部之间具有空隙。
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