[发明专利]一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法有效
| 申请号： | 201310655163.9 | 申请日： | 2013-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN103616796A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 邓启凌;张满;史立芳;胡松;秦燕云;曹阿秀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;孟卜娟 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，包括如下步骤：1）对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理；2）将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1）中的经过防粘处理的原始母板；3）将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步骤2）中的巯基-烯材料上；4）利用紫外光对巯基-烯材料进行固化；5）固化成型后，将巯基-烯材料结构层和弹性胶质材料组成的复合微纳米结构与步骤1）中的原始母板分离；6）对步骤5）中的复合微纳米结构进行表面防粘处理，制备获得紫外光固化软印刷复合模板。本发明的显著特点是制作成本低廉，工艺简单，分辨率高，制备过程无需刻蚀和高真空条件，促进了软印刷技术在微纳结构加工领域的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光固化 印刷 复合 模板 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）获取表面含有浮雕微纳米结构的硅、石英或二氧化硅原始母板，并对母板进行表面防粘处理；（2）配制杨氏模量大于50MPa的巯基‑烯材料；（3）将步骤（2）中配制的巯基‑烯材料均匀涂覆在步骤（1）中经过处理的原始母板上；（4）获取一块用弹性胶质材料制备的柔性基板，轻轻地覆盖在步骤（3）中的巯基‑烯材料上；（5）放置在紫外光下固化；（6）固化成型后，将由巯基‑烯材料结构层和柔性基板组成的复合结构从原始母板上剥离下来；（7）对步骤（6）中的复合结构进行与步骤（1）中相同的表面防粘处理，获得可用于紫外光固化软印刷技术的柔性复合模板。
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