[发明专利]一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器有效
| 申请号： | 201310656546.8 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103616098A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李斯;梁旭;申胜平;徐明龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件，在所述金属弹性元件的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜，周边设置有绝缘层，所述挠曲电介电薄膜上下表面分别设置有上金属电极和下金属电极，所述挠曲电介电薄膜的上金属电极和下金属电极分别连接有两条输出测量电荷信号的引线，所述金属弹性元件下方具有施加压力的压力通道，所述挠曲电介电薄膜连同上金属电极和下金属电极均置于外壳内，两条引线的一端从外壳引出；本发明通过施加压力与金属弹性元件中机械变形的应变梯度之间的线性关系测量薄膜上受到的压力，能够准确、简单的实现压力的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 基于 金属 弹性元件 挠曲 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件（1），其特征在于：在所述金属弹性元件（1）的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜（2），周边设置有绝缘层（3），所述挠曲电介电薄膜（2）上下表面分别设置有上金属电极（4）和下金属电极（5），所述挠曲电介电薄膜（2）的上金属电极（4）和下金属电极（5）分别连接有两条输出测量电荷信号的引线（6），所述金属弹性元件（1）下方具有施加压力的压力通道（7），所述挠曲电介电薄膜（2）连同上金属电极（4）和下金属电极（5）均置于外壳（8）内，两条引线（6）的一端从外壳（8）引出。
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