[发明专利]一种晶圆外观缺陷的分类以及检测方法有效
| 申请号： | 201310656717.7 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103674965B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 舒远;王光能;周蕾;米野;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族电机科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备领域，尤其是涉及一种晶圆外观缺陷的分类以及检测方法，该方法包括以下步骤S1、扫描获得晶圆图像；S2、对晶圆图像进行边缘提取计算边宽；S3、分割出晶圆的感兴趣区域；S4、对晶圆的感兴趣区域进行外观缺陷检测；S5、对晶圆外观缺陷进行归类。本发明可以提高晶圆的加工效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外观 缺陷 分类 以及 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆外观缺陷的分类以及检测方法，包括以下步骤：S1、扫描获得晶圆图像；S2、对晶圆图像进行边缘提取计算边宽，通过相机采集到晶圆的多个行图像，并将这些行图像拼接成一幅大的晶圆拼接图像；首先，通过图像处理算法中扫描边缘点的方式得到一系列外边缘和内边缘的点，这一系列的两个点之间的距离即为一系列的边宽；或者是，通过图像处理算法中扫描边缘点的方式得到晶圆的外边缘轮廓和内边缘轮廓，这两个轮廓之间的一系列的距离即为一系列的边宽；S3、分割出晶圆的感兴趣区域，其为位于内边缘/内边缘轮廓内侧的区域；S4、对晶圆的感兴趣区域进行外观缺陷检测，通过灰度阈值分割，分割出晶圆的感兴趣区域的图像中的白色区域与黑色区域，这些白色区域与黑色区域即为有缺陷的区域；S5、对晶圆外观缺陷进行归类。
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