[发明专利]一种改造后的硅片清洗机用槽体

摘要

本发明创造提供一种改造后的硅片清洗机用槽体槽体的上沿周向有水平外沿，其特征在于：水平外沿上设置有溢流通道，在水平外沿的下方，沿槽体壁的外侧周向设置有一圈蓄水槽，所述溢流通道与所述蓄水槽连通，蓄水槽的底部设有排水管道。改造后的清洗机用槽体相对于老式的清洗机槽体增加了溢流装置，可以保证槽体内清洗液不断地循环更新，进而提高了对于硅片产品的洗涤效果，使得经过洗涤后的硅片产品的合格率相对于现有技术得到很大的提升，除此之外，改造后的清洗机用槽体的外沿呈凹槽状，可以有效的防止清洗液溢流循环时出现外溢的现象。

主权项

一种改造后的硅片清洗机用槽体，槽体（1）的上沿周向有水平外沿（2），其特征在于：水平外沿（2）上设置有溢流通道（4），在水平外沿（2）的下方，沿槽体壁的外侧周向设置有一圈蓄水槽（3），所述溢流通道（4）与所述蓄水槽（3）连通，蓄水槽（3）的底部设有排水管道（7）。