[发明专利]镀膜设备在审
| 申请号： | 201310661545.2 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104694887A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 谢志男;许恭铭;张凯杰;何玫蓉 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜设备，包括中空座体、靶源及散热元件。中空座体具有开口。中空座体内具有至少一导引斜面，导引斜面往开口倾斜。靶源固定于中空座体且适于对工件进行镀膜。散热元件位于中空座体内以对靶源进行散热。来自散热元件的液体适于沿导引斜面往开口流动并通过开口而离开中空座体。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种镀膜设备，其特征在于，包括：中空座体，具有开口，其中该中空座体内具有至少一导引斜面，该导引斜面往该开口倾斜；靶源，固定于该中空座体且适于对工件进行镀膜；以及散热元件，位于该中空座体内以对该靶源进行散热，其中来自该散热元件的液体适于沿该导引斜面往该开口流动并通过该开口而离开该中空座体。
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