[发明专利]一种ITO膜导电玻璃生产方法及一种真空旋涂设备

摘要

本发明涉及ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种ITO膜导电玻璃生产方法及一种真空旋涂设备。所述真空旋涂设备包括真空室，真空室内设置有旋转台，旋转台上设置有玻璃夹具；所述真空室的右侧依次设置有一级干燥室和二级干燥室，使得ITO膜的膜厚更均匀，产品穿透率和阻抗特性更理想。

主权项

一种ITO膜导电玻璃生产方法，其特征在于，它包括如下步骤：第一步，将大片玻璃切割成玻璃基片；第二步，对玻璃基片进行磨边和倒角，并清除所产生的微粒；第三步，对玻璃基片的表面进行研磨抛光处理；第四步，以高精密洗净法完全洗净玻璃基片；第五步，配置ITO膜凝胶：将一定量的铟溶解在浓酸盐中得到InCl3溶液，取出一定量的InCl3溶液，与乙酰丙酮按1:2—1:3的摩尔比混合搅拌得到透明溶液；再按透明溶液与乙二醇甲醚的质量比为80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室温下搅拌，得到In溶胶；按In：Sn质量比为25:2的比例加入SnCl4·5H2O，搅拌20min得到In‑Sn溶胶，然后按In‑Sn溶胶与聚乙二醇的质量比为80:20的比例加入聚乙二醇，静置40min得到ITO膜胶液；第六步，将ITO膜胶液涂于玻璃基片的中心处；第七步，将玻璃基片固定放置于真空旋涂设备的旋转台上进行旋转，旋转台位于真空旋涂设备的真空室内，旋转台转速为200rpm/min，旋转时间为80s，在玻璃基片的表面形成一层均匀的ITO凝胶；第八步，根据ITO膜的厚度要求，重复第六步和第七步，形成多层ITO凝胶，以满足ITO膜的厚度要求；第九步，将玻璃基片放置于真空旋涂设备的一级干燥室中，在85°C温度下干燥10~15分钟；第十步，再将玻璃基片放置于真空旋涂设备的二级干燥室中，在150°C温度下热处理10~15分钟，使得多层ITO凝胶形成ITO膜；第十一步，检查并记录产品的穿透率和阻抗特性，并判断产品是否为良品，良品即包装起来。