[发明专利]一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310666596.4 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103681197A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中并且所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。本发明中毛细玻璃管放置于反应腔中，毛细玻璃管一端与负压装置连接进行抽真空，另一端与气源连接通入反应气体，高频电源驱动第一电极件与第二电极件之间形成电场，反应气体对毛细玻璃管内壁进行活化处理，达到均匀处理的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃管 内壁 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中，所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成用于放置毛细玻璃管的反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。
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